烤胶机与真空干燥箱相比有哪些优点？

发布时间：2022-4-18 点击次数：395

烤胶机是针对半导体工艺生产中晶圆烘烤而设计的一款产品，烤胶机可在电子、化工等行业的工矿企业、科研、教育等单位，进行热老化、温度试验及干燥、烘焙、消毒和热处理等试验用。与传统的真空干燥箱相比，利用烤胶机固化膜层的优势有：

（1）烘烤时间减少；

（2）重复性高；

（3）对薄膜的固化效果好。

烤胶机整个面板温度均匀，对基片膜层固化效果非常好。由于固化是从下往上，所以不会“皮肤效应”。这种“由里而外”的固化方式尤其适合较厚的膜层，因为最靠近基片的膜层会首先固化好，然后是膜层靠外的部分。该设备由于升温迅速，所以产量较高。烘烤时间用秒计算，而不是像传统烘箱用分钟或者小时计算。

TC-V300烤胶机外观小巧精致，采用高精度微处理器，温度控制更加准确，升温速率可控，可编辑多段温度曲，线烘烤时间短、重复性高和薄膜固化效果好。